问下富氧膜制氧机原理是什么?

制氧机具体工作候进行：原料空气由压缩机加压经空气预处理装置除油、尘埃等固体杂质及水,并冷却至温经处理压缩空气由进气阀进入装筛吸附塔空气氮气、二氧化碳等吸附流气体即高纯度氧气吸附塔达定饱度进气阀关闭,冲洗阀打吸附塔进入冲洗阶段冲洗阀关闭解吸阀打进入解吸再阶段即完循环周期（简单描述：打进气阀关闭气阀使压缩空气进入吸附塔加压吸附；关闭进气阀打气阀泄压解吸使吸附氮气排）进气阀冲洗阀（气阀）制氧机内部电磁阀。